测试与失效分析

Testing and Failure Analysis
表面形貌分析
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3D光学显微镜

设备型号：DVM6
针对各类储能业务需求，TIES力图发展成为布局全面，面向市场，集测试分析、失效分析、资质认证、技术开发、工程放大、智能制造、高价值信息服务、高端培训为一体的研发型企业。 联系我们

技术参数

  1. 目镜：视场数22mm ，10倍，带屈光度校正；

  2.物镜：6位或7位电动物镜转盘，配接32mm直径工业物镜；

  3.聚光镜：复消色差光路；

  4. 调焦系统：2-齿轮高精度电动调焦驱动器


应用范围

形貌和微细结构成像
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扫描电子显微镜（SEM）
技术参数二次电子分辨率：0.8 nm (加速电压 15 kV) (标准模式，非任何减速模式下)1.1 nm (加速电压 1 kV)(减速模式)放大倍数：20 到 1000k         加速电压：20-1000k电位移：±12μm(WD=8mm)光阑：4孔物镜活动光阑系统：内置自清洁装置（孔径30、50、50、100μm）探测器：低位（Lower）、高位（Upper）二次电子探测器、高位过滤背散射探头信号选择：二次电子像、背散射电子像、混合像快速换样系统：100mm直径大样品交换仓，换样时间30秒真空转移系统：日立原装真空转移系统能谱仪：布鲁克60mm2能谱应用范围1、加速电压减速功能，具有波长较短、像差较小、分辨力高的一系列优点，降低样品损伤的同时，可以获得低电压高分辨的图像。2、SE/BSE信号按比例接收功能，电镜配有低位（Lower），高位（Upper）二次电子探测器，高位过滤背散射探头，可以通过改变透镜内变换电极的电压，让检测器捕捉到二次电子及背散射电子，以任意比例（100级）混合，达到最 佳对比度的观察，抑制荷电、边缘效应，从而获得对比度最 佳的SEM像。

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X射线光电子能谱仪（XPS）
技术参数1. 能量分辨率：Ag3d5/2峰位FWHM < 0.48eV；C1s谱中O=C-O峰位FWHM < 0.82eV 2. 最小x-ray 束斑：<10.0μm（x轴）；<10.0μm (y轴) 3. Ar离子溅射枪最大束流：>5.0μA @5kV4. Ar离子/C60离子溅射枪差分气压：< 6.7x10-6 Pa (5x10-8Torr) 5. Ar气团簇离子枪的最大电流：>40nA @ 20kV 6. Ar气团簇离子最小束斑：500 μm @ 20 kV7. 样品台的冷热性能：-140°C~800°C  应用范围无机化合物、合金、聚合物、能源电池、表面缺陷（腐蚀，异物，污染，分布不均等）、表面多层薄膜等

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友情链接： 中国科学院物理研究所 长三角物理研究中心有限公司 溧阳深水科技咨询有限公司

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