Testing and Failure Analysis
技术参数
1.扫描范围:90µm × 90µm × 10µm
2.光学辅助观察系统:285 ~ 1285倍放大
3. 分辨率:1.5µm
4. 视场范围:180-1465µm
应用范围
表面形貌图像、表面粗糙度、三维表面形态影像、形态的定量测量
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